半導體與光電產業的特殊氣體管線因化學反應容易產生副產物沉積,導致管線阻塞、氣體流量異常、影響生產,甚至造成高昂的維修成本。傳統方法透過加熱或化學清潔方式去除沉積物,但這可能對設備產生腐蝕影響。
流體離子技術(Fluid Ions)透過物理方式預防沉積物累積,保持管線暢通,並無需使用化學藥劑,更環保且安全。
流體離子技術的優勢
- 減少管線阻塞:
- 透過離子技術改變沉積物的分子排列,防止附著。
- 減少頻繁清理與設備更換成本。
- 保持氣體流量穩定:
- 確保氣體輸送順暢,提高生產效率。
- 減少因管線問題導致的生產中斷風險。
- 減少維護需求:
- 無需頻繁停機維護,降低人力與設備損耗。
- 避免高成本的設備更換與維修。
- 環保節能:
- 無需化學清潔,避免管線腐蝕與污染。
- 減少企業運營風險,提高設備壽命。